韩国两家研究机构将共建等离子体工艺陶瓷材料数据平台

7月13日，韩国聚变能源研究院与韩国陶瓷技术研究院在大田总部签署业务合作协议，双方将围绕等离子体工艺用陶瓷材料和部件，开发等离子体耐受特性数据，并建设基于人工智能的联合研究与数据利用平台。

KFE院长吴永国(左)和KCTI院长尹钟硕在签署协议后合影留念

韩国陶瓷技术研究院是韩国唯一专门从事陶瓷研究的机构，主要开展陶瓷领域研发、测试分析、评估、企业支持和产业政策支持等工作。该院在材料和部件表征、标准化方面具备技术基础，长期服务于陶瓷产业技术提升和企业竞争力建设。

此次合作面向半导体和显示器制造环节。在相关工艺中，等离子体刻蚀和沉积会反复进行，设备内部陶瓷材料和部件也会长时间处于高能等离子体环境中。材料能否在这种环境下保持稳定，直接关系到工艺稳定性、设备寿命和产品质量。因此，系统积累材料在等离子体环境中的反应和变化数据，并进行客观比较与评估，已成为产业界关注的基础工作。

根据协议，两家机构将共同获取陶瓷材料和部件的等离子体特性数据，建设数据化联合利用平台;发掘并推进陶瓷材料和部件相关联合研究项目;共享研究数据和信息，并共同使用研究基础设施。

在分工上，韩国聚变能源研究院将发挥等离子体研究和数据解释能力，参与分析陶瓷材料及部件在等离子体环境下的反应特性;韩国陶瓷技术研究院则依托其测试、分析、评估和标准化经验，支持建立材料评估基础。

双方还计划通过韩国技术标准院国家参考标准中心，推动等离子体工艺用陶瓷材料和部件的等离子体耐受特性注册为国家参考标准，并利用人工智能分析技术，开发面向半导体和显示器行业的评估与分析系统。

韩国聚变能源研究院院长吴永国表示，可靠的材料数据和评估基础对等离子体工艺进步以及先进制造业竞争力提升十分重要。通过此次合作，双方将推进基于人工智能的数据利用技术，助力先进材料和零部件行业的创新与技术竞争力提升。