7月 6 日，中核同创(成都)科技有限公司(以下简称中核同创)为客户定制开发的全自动大口径离子束刻蚀专用装备顺利完成整机核验和精密封装，正式启运发货。此次发货的设备是公司紧扣客户高端生产工艺需求，定向研发打造的专用化、全自动、高精度离子束刻蚀装备，设备性能与自动化水平均适配前沿精密加工标准，这标志着公司在原子级精密离子束加工装备定制化研发领域取得重大突破，向国产高端离子束装备产业化应用迈出坚实一步。
此次发货的全自动大口径离子束刻蚀设备整机搭载自主化大口径离子源单元，配套全自动真空腔体、智能传输、闭环控制系统，实现上料、工件传输/翻转、刻蚀、下料全流程无人值守全自动运行，可满足大尺寸光学元件、半导体宽禁带材料、精密光栅、MEMS器件等高精度微纳加工需求。
针对客户特殊工况需求，项目团队重点攻克大口径束流均匀性、长时连续运行稳定性、全自动真空联调、工件多姿态旋转与传输等多项技术难点，经多轮工艺模拟、全流程出厂联调，将设备自动化程度、刻蚀均匀性等指标提升至行业先进水平，可稳定实现纳米级精密形貌加工，有效破解高端精密制造领域长期依赖进口设备的痛点。
在设备的研制过程中，核工业西南物理研究院与中核同创公司高度重视，管理层统筹协调，组建项目攻关专班，同步推进设备结构优化、真空系统适配、离子源迭代、自动化控制分系统集成等核心研发工作，实现各模块并行高效攻坚、无缝衔接推进。在生产制造阶段，项目团队严守高端精密装备质量管控体系，践行精益求精的精工理念，对腔体精密焊接、高精度运动平台装配、离子源核心组装、电气系统集成等关键工序实施全流程、全覆盖精细化检测，严控每一处生产细节、严把每一道工艺关口。设备出厂前，顺利完成72小时满负荷不间断自动化联调测试，对全自动运行逻辑、束流稳定性、真空漏率、安全联锁防护等全部核心性能参数逐项核验校准，所有指标均精准达标，完全满足客户定制化高端技术要求。离子束刻蚀装备是原子级精密加工的核心“工业手术刀”，广泛应用于核聚变材料处理、半导体、光子芯片、精密光学、量子器件、同位素去污等前沿领域，是支撑高端制造产业升级的关键基础装备。作为中核集团深耕等离子体与离子束技术应用的专业化公司，中核同创长期聚焦大口径离子源、全自动真空加工设备国产化，持续开展定制化装备研发与工程化落地，先后推出多款适配不同应用场景的离子束加工成套设备，服务国内多家科研院所与商业客户。
此次定制化全自动大口径离子束刻蚀设备顺利完成全流程测试并启运发货，既是客户对中核同创技术实力、定制化服务能力的高度认可，也是中核同创推动离子束高端装备自主化、产业应用化的重要里程碑。下一步，公司将持续依托在等离子体应用领域的技术积淀，聚焦大口径、高自动化、高精度离子束装备迭代升级，不断拓展半导体、精密光学、聚变材料等应用领域的成套解决方案，以自主创新硬核装备助力国内高端精密制造产业高质量发展。
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