韩国原子能研究院转让“高效加压真空流体输送系统”技术

韩国原子能研究院4月5日宣布，已签署技术许可协议，将“高效加压真空流体输送系统”技术转让给BEXCO。

流体输送装置配置图

协议条款明确，BEXCO需支付1亿韩元的固定特许权使用费，以及销售额1.5%的持续特许权使用费，协议涵盖9项相关专利和1项专有技术，执行期为自合同签订之日起10年。

BEXCO株式会社是专业生产和销售真空泵及真空系统的公司，也是韩国原子能研究院旗下企业。此次技术转让后，该公司计划将业务拓展至半导体和显示工艺用高效真空泵以及超高真空(UHV)环境控制系统领域。

据韩国原子能研究院介绍，半导体和显示器制造工艺中，对超高真空环境所需的高效真空泵需求正稳步增长。现有真空泵气密性差，难以实现超高真空状态，而该研究院开发的技术能实现近乎完美的真空，因而受到BEXCO关注。

这项技术由韩国国立科学技术研究院处置性能示范研究部权章顺博士领导的研究团队开发。研究团队在研究乏核燃料深层处置系统时，利用旋转活塞法开发出高效的流体输送系统。其原理是转子在圆柱形结构内旋转，内部空间膨胀时降低压力吸入外部流体，收缩时增加压力排出流体。进出水管方向可改变，能实现双向流体流动，还可稳定处理高粘度液体，且集成了流体自吸和真空产生等功能。

该技术克服了传统旋转泵产生高压的局限性和往复泵结构复杂、流量受限的缺点。通过连接多个转子可逐步提高泵的性能，与现有旋转泵和往复泵相比，具有振动和噪音低、运行稳定性高、耐久性强等优势。

此前，核心流体输送装置主要依赖海外产品。此次技术转让为相关设备国产化奠定基础，若实现国产化，不仅能降低成本，还能保障供应链稳定，增强技术自主性。此外，该技术除应用于半导体和显示器等行业外，还可推广至能源、化工等多个工业领域。

韩国原子能研究院副院长林仁哲表示：“这项技术是核研究过程中获得的高附加值资源技术，意义重大在于展示了核心设备领域本土化的可能性，目前该领域对外国资源依赖程度很高。我们将继续提供支持，使研究院技术能在工业领域得到应用。”